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真空燒結爐遇到以下三种情况可采取的应急措施

日期:2018/12/21 0:00:00



真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進行真空燒結,氣體保護燒結及常規燒結,是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備,它設計構思新穎,操作方便,結構緊湊,在一台設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理,真空釺焊等工藝。接著跟俺一起看看真空燒結爐遇到以下三种情况可以采取的应急措施。  

一、停电  

    1、停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。  

    2、如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。  

    3、如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,如果需要较长时间时,则保持原状,让设备自然冷却下来。  

二、加热电源掉电  

    1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。  

    2、接地故障。  

    3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固,与反射屏绝缘要好。  

    4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。  

三、充气气体停止  

    1、抽真空开始前,气体充入时间长或者无法充入时,请确认气体管路是否被堵塞。  

    2、如气体管路没问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。  

    3、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。  

    4、确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。

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